光刻加工工艺复杂,占据整个芯片制造工艺用时的一半以上,光刻胶就在这一工艺环节扮演了重要角色,它的品质好坏直接决定了加工的稳定性和芯片的良品率。
当今世界光刻胶市场,主流以光刻波长为248nm的KrF和193nm的ArF为主,这一系列的光刻胶技术大多被日本和美国垄断,我国光刻胶近年来也掌握了436nm和365nm光刻波长的技术,逐步从低端向高端发展。
5 湿电子化学品
蚀刻和清洗的重要耗材
湿电子化学品主要用于芯片蚀刻工艺的各个环节,分为超高纯净试剂和功能性材料,如蚀刻液、显影液、极性溶液、氢氟酸、硫酸、双氧水等。
我国的蚀刻技术基本与世界持平,虽然目前湿电子化学品市场依旧主要被欧美日韩等地区企业瓜分,但他们已无法对我们形成垄断,甚至有被我们取代的趋势。
6 电子气体
芯片制造的血液