爪型干式真空泵的结构，一般采用多级转子串联，或罗茨转子与多级转子串联的形式，组成多级爪型干式真空泵。
如图所示，四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。
四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。
四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。
电动机倒立安装，经过渡齿轮将动力传递到转子轴上，转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位。
转子之间及转子与泵腔内部留有微小缝隙，转子悬浮于泵腔使得过流部分无任何实质性接触摩擦，也不需要润滑，这就保证了爪泵可以长期稳定保持极限真空、抽速、压缩比不变，寿命长。
3
特点
- 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染。
- 真空度高，可达3Pa。
- 结构简单，易于操作和维护，运行成本低。
- 能在较高压力下长期连续工作，噪声小。
- 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）。
- 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105。
- 转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用 寿命长。
4
应用
石化行业：
- 能抽除酸性气体:如四氢呋喃等。
- 能抽除可凝性气体：如酒精、汽油等。
- 能抽除易燃易爆气体：如氧气、氢气、甲烷等。
- 防腐系列能抽除强酸性气体：如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。
医药行业：结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、环氧乙烷消毒等。
食品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体
其它行业：中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。
水环式真空泵
1
基本类型与特点：
水环泵按不同结构可分成如下几种类型：
- 单级单作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，单作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高，但抽速和效率较低。
- 单级双作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下，双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大，效率也较高，但极限真空较低。
- 双级水环泵：双级水环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下，仍然具有较大的抽速，而且工作状况稳定。
- 大气水环泵：大气水环泵实际是大气喷射器串联水环泵的机组。水环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空，扩大泵的使用范围。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点：
- 结构简单，制造精度要求不高，容易加工。操作简单，维修方便。
- 结构紧凑，泵一般与电动机直联，转数较高。用较小的结构尺寸，可以获得较大的排气量。
- 泵腔内没有金属摩擦表面，无须对泵内进行润滑。转动件和固定件之间密封可直接由水封来完成。
- 泵腔内压缩气体过程温度变化很小，可认为是等温压缩，故可以抽除易燃、易爆的气体。
- 由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体及气水混合物。
2
水环泵缺点：
- 效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。
- 真空度低。这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。
总的说来，由于水环泵具有等温压缩和用水作封液，可以抽除易燃、易爆及腐蚀性气体，还可以抽除含有灰尘和水分的气体等突出优点，所以得到了广泛的应用。
3
水环真空泵的应用
在电力行业中的应用：冷凝器抽真空、真空吸水、烟气脱硫、飞灰输送、涡轮机密封管排气、真空排气、排出地热气。
在石油化工行业中的应用：气体回收、气体回收、燃气升压、强化的石油回收、气体收集、原油稳定化、原油真空蒸馏、排气压缩、蒸汽回收/气体升压、过滤/除腊、尾气回收、聚酯生产、PVC生产、包装、循环气压缩、变压吸附（PSA）、生产、乙炔与氢气等易燃易爆气体压缩、原油减压蒸馏中的塔顶真空系统、真空结晶与干燥、真空过滤、各种物料的真空输送。
在制行业中的应用：干燥 (托盘、旋转、翻转、锥形和冷冻干燥器)、再生产/反应堆干燥、蒸馏、除气、晶化/汽化、加注和/或材料转移。
在纸浆和纸张生产中的应用：黑液蒸发、粗浆洗浆机、石灰泥浆和过滤器、沉淀物过滤器、真空脱水机、原料和白水除气系统、调浆箱压缩机、吸水箱、伏辊、吸移辊和传递辊、真空压榨、毛布吸水箱、防吹箱。
在塑料行业中的应用：挤出机除气、定型台 (剖面)、EPS 发泡、干燥、气动输送装置、氯乙烯气体抽取和压缩。
在器械中的应用：蒸汽灭菌、呼吸装置、气褥、防护服、牙科仪、中央真空系统。
在环保行业中的应用：废水处理、沼气压缩、真空加水、废水净化/活性污泥箱氧化、鱼塘通风、垃圾产生气体回收（生物气体）、沼气回收 (生物气体)、废物处理机。
在食品和饮料行业中的应用：鲑鱼清洁机、矿泉水除气、色拉油及脂肪除臭、茶叶和调味品*菌、香肠火腿生产、烟草制品湿化、真空蒸发器。
在包装行业中的应用：给包装袋充气，以充填货物、采用抽气方式带开袋子、运输包装材料和产品、贴附标签及包装带有胶水的物品、采用真空机械手抬高纸板箱，并对其进行组装、真空包装和换气包装(MAP)、PET容器生产、塑料颗粒的干燥、塑料颗粒的输送、挤出机除气、喷射模塑、注塑件的脱膜及处理、注塑件的干燥、瓶体吹塑、等离子处理，以设置隔离层、瓶体气动输送、充填与灌装 、贴标签、包装和制模、回收。
在木材加工行业中的应用：保持与抓举、木材干燥、木材保存、原木浸渍。
在海运行业中的应用：冷凝器排气、中央真空抽水、船用低压空气压缩机、涡轮机密封管排气。
在设施处理中的应用：烘干地板、水路管防腐保护、中央真空清洁系统。
在冶金行业中的应用：钢铁除气。
在制糖工业中的应用：制备CO2、污物过滤、在蒸发器与真空吸盘中的应用。
4
选择要点
一、水环式真空泵类型的确定
水环式真空泵的类型主要由所抽介质、工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
二、水环式真空泵正常工作以后需要注意的有两点：
1、尽可能要求所选真空泵的真空度要求在高效区间内，也就是在临界所需真空度或临界所需排气压力的区域内运行，这样才能保证真空泵能够按照需要的条件和要求正常工作。 应避免在真空泵最大真空度或最大排气压力范围附近运行。
在这个区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，容易使真空泵产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显现象是真空泵内有噪音和振动。过大的汽蚀会导致泵体、叶轮等零部件的损坏，以致于真空泵无法正常工作。
由此可以看出，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时，可以优先在单级泵中选取。如果对真空度或排气压力要求较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用罗茨水环真空机组作为抽真空装置。
2、根据系统所需要的抽气量正确选择真空泵
如果选定了真空泵或者真空机组的类型之后，还需要要根据系统所需的抽气量来选用正确的型号。
各种型式的水环式真空泵，其特点如下：
干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
