工业气体里有些不被人重视但却有其独特的用途，由于使用和提取较少，我们统称为稀有气体，这类气体化学性质稳定，所以又被称为惰性气体。稀有气体主要有氦气、氖气、氩气、氪气、氙气，以及唯一在常态下具有放射性的氡气。

氦气

天然气分离法：工业上，主要以含有氦的天然气为原料，反复进行液化分馏，然后利用活性炭进行吸附提纯，

合成氨法：在合成氨中，从尾气经分离提纯可得氦。

空气分馏法：从液态空气中用分馏法从氖氦混合气中提出。

铀矿石法：将含氦的铀矿石经过焙烧，分离出气体，再经过化学方法，除去水蒸气、氢气和二氧化碳等杂质提纯出氦气。

氖气

在标准状态下氖是单原子的气体。在地球大气层中氖非常稀少，只占其65,000分之一。工业使用液化空气冷却分离的方法来生产氖。

氩气

在工业上得到氩的方法就是把空气蒸馏。用冷凝器可以先把沸点90.2K的氧液化，移除液氧之后继续冷却就可以液化沸点为87.3K的氩气，最后留下沸点77.35K的氮气。目前以这种方法制造的氩气在全世界高达七十万吨/年。