米格实验室：超声波扫描电子显微镜。
在电子元器件实效分析流程中，超声波扫描就像人体做b超一样(超声波功能仪器的分类)。超声波在均匀材质中波形速度不会发生变化，但是在不同材料或者材料中存在空洞杂质、裂纹，超声波的传播极性和速度都会发生变化。基于这个原理可以实现芯片内部的无损探伤。
SAT在电子元器件检测领域的应用主要在于可靠度验证、MSL等级验证、失效分析。其中有两种扫描模式可对半导体晶圆、封装器件、功率器件等进行检测。
·其中C-scan以脉冲回波的方式对特定层面进行扫描。反射模式下坏的粘接面反射能量高过好的粘接面，并通过图像着色呈现异常位置，通过调节门限宽度控制扫描厚度。
·第二种扫描模式T-scan以穿透的方式对样品进行扫描，能够快速确定样品是否分层。缺点是不能确认分层位置，此时需要C扫和T扫同时扫描，确认异常位置。
本实验室所用设备为美国Sonoscan D9500，下面为大家展示具体操作流程。
超声波的传播以水为介质。
·第一步需要准备干净的去离子水。
·第二步准备扫描探头，从左到右依次是230兆、100兆、50兆、30兆、15兆。最右边是T扫的接收探头，探头频率越高，分辨率越高。频率越低穿透性越好。
以扫描芯片为例，选择合适的探头并将探头安装固定到设备上，将探头信号传输线接至TR位置，随后将样品台放至去离子水中，将样品放置样品台上并手动清理样品表面气泡，关闭设备舱门即可进行扫描。
关于控制面板，黑色箭头可控制xy方向移动，蓝色箭头可控制z方向移动。左边下拉框可选择扫描区域，最大为323*313毫米。右侧下拉菜单可选择分辨率，最高4096*4096。下方可选择扫描区域，整体扫描或者扫描1/2。右侧选择扫描模式为快扫，拉动绿蓝条可调节扫描速度。
第一个键为开始扫描，第二个红色为停止扫描，三个波形为自动聚焦。调节探头XYZ位移，使探头到样品正上方后入水，期间注意不要碰到镜头。探头移至样品正上方并清理探头上的气泡，对样品表面波进行自动聚焦后开始扫描找样品位置。
确认样品扫描完整后，鼠标点击样品定位波形，拉高增益直至看到样品表面波后第二个波峰，将门限拉至第二个波峰处，自动聚焦后开始扫描，此时即可检测封装芯片内die的状态。图像显示die位置处无明显红色或黄色警告即为正常。
鼠标点击框架处即可在波形图中看到波峰，将门限移至该波峰处，自动聚焦后开始扫描即可检测芯片框架处粘接是否合格，无红色或黄色警告即为合格。扫描后的图像保存JPG格式，扫描后保存波形报告，可自主选择保存点位波形，一般保存正常点位与异常点位两处波形。
下面是T扫的操作步骤。T扫为穿透式扫描，首先需要更换样品台。第二步安装探头，左侧为超声波发射探头，右侧为接收探头，依次将探头组装到设备上，将接收探头的信号传输线接至TT位置，对两个探头以及样品进行排气泡处理。
在电脑操作软件界面中，左下方更换探头频率，左上方更换扫描模式，将探头移至没有样品的区域，找到水波并将门限移至水波前，扩大门限宽度，点击H键，探头将回到上次扫描位置，调整门限以及合适增益，开始扫描。t扫一般使用1号颜色条，颜色越黑说明超声波接收量越少，可能为异常。对比图像和波形，确认无异常后保存图片和波形报告。
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